产品分类：三氟化氮

名称/化学式：三氟化氮/NF3
包装规格：44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm)：99.99%

---

产品详情

气体标识

名称：nitrogen trifluoride　分子式：NF3

气体物化特性

分子量 熔点 沸点 临界温度 临界压力 液体密度 气体密度 CAS号 71.01 -206.8℃ -129℃ -39.3℃ 44.02(4.46MPa) 1554kg/m3(沸点时) 2.95kg/m3(21℃） 7783-54-2

包装

钢瓶容积 钢瓶型号 阀门 钢瓶压力 气体质量 危规号 UN编号 包装分类 包装标志 47L、43.3L、40L、8L DOT-3AA、G B 5099 CGA330、CGA640 9.0-13.0MPa 22kg、20kg、3.4kg 23016 2451 Ⅱ 6

储存及运输

三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。

三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。

三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。

泄漏应急处理

如遇有三氟化氮气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。

泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒，最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。

三氟化氮气体产品质量标准（QJ58-2007）

杂质 NF3≥99.995% Vol.% NF3≥99.99% Vol.% NF3≥99.98% Vol.% NF3≥99.9% Vol.% CF4 ≤20 Vol.ppm ≤40 Vol.ppm ≤100 Vol.ppm ≤500 Vol.ppm N2 ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm O2+Ar ≤3 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm CO2 ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm H2O ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm 酸份（以HF计） ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm SF6 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤25 Vol.ppm N2O ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm CO ≤0.5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm

---

三氟化氮（NF3）主要用途

是用作氟化氢－氟化气高能化学激光 器的氟源，在h2-O2与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所HF-OF激光器是化学激光 器中最有希望的激光 器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留残留物，同时也是非常良好的清洗剂。

用作高能燃料。

---

目前三氟化氮工业化生产

有两条路线,一是合成法:将氟化氢铵在镍制反应器中加热,氟气、氮气和氨通过分布器进入反应器直接氟化反应。二是电解法:在一定温度下,电解熔融的氟化氢铵,电解过程中阳极产生三氟化氮,阴极产生氢气。我国三氟化氮生产厂家的生产方法为上述两种方法。

产品名称：三氟化氮

产品类别：化工/气体

生意有风险，请细致咨询，并做详细考察。本网对网站刊登的所有信息不声明或保证其内容的正确性和可靠性。您于此接受并承认信赖任何信息，所产生的风险需自行承担。 注：本站商品信息均来自于合作方，其真实性、准确性和合法性由信息拥有者（合作方）负责。